電子特氣：高端化差異化是發(fā)展方向

　　日前，第四屆中國電子氣體發(fā)展高峰論壇在京召開。與會專家表示，隨著技術(shù)的進步，我國電子特氣國產(chǎn)化取得顯著進展，產(chǎn)品種類、產(chǎn)量逐年增加，進一步滿足了市場需求。同時，晶圓、顯示面板、光伏等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，將為電子特氣產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入強勁動力。但電子特氣行業(yè)的產(chǎn)品同質(zhì)化問題不容忽視，要走差異化、高端化路線，共同促進行業(yè)持續(xù)高質(zhì)量發(fā)展。

　　國產(chǎn)化取得諸多進展

　　據(jù)中國電子氣體百人會會長、中船(邯鄲)派瑞特氣股份有限公司副董事長李紹波介紹，近年來的持續(xù)發(fā)力使我國在電子特氣國產(chǎn)化方面取得了諸多進展。

　　有關(guān)數(shù)據(jù)顯示，當前全球市場(集成電路)規(guī)模排名前十的電子特種氣體，我國已完成多種產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化布局，其中在8吋制程上我國電子特氣基本國產(chǎn)化(不含前驅(qū)體)。

　　“電子特氣是半導體產(chǎn)業(yè)的支撐材料。近年來，隨著技術(shù)的不斷進步，我國電子特氣的種類和產(chǎn)量增加明顯，進一步滿足了市場需求?！崩罱B波表示，在晶圓制造工藝中，所需電子氣體(含前驅(qū)體)共130余種，目前我國本地化供應市場的種類約為40%；顯示面板制造過程中所用到的各類電子氣體近30種，基本實現(xiàn)本地化供應；在光伏產(chǎn)業(yè)鏈中，電子特氣主要用在多晶硅、長晶和電池工藝環(huán)節(jié)，有18種之多，全部實現(xiàn)了國產(chǎn)化。

　　“根據(jù)行業(yè)統(tǒng)計，2023年前三季度，我國主要電子特氣企業(yè)銷售收入約36億元，利潤約6.3億元。2019年至2022年，我國電子特氣行業(yè)復合增長率維持在30%以上，雖然2023年受大環(huán)境影響需求有所下降，但相關(guān)機構(gòu)預測我國境內(nèi)電子特氣市場規(guī)模仍達198億元。”李紹波說。

　　市場需求與日俱增

　　在半導體材料中，電子氣體是僅次于大硅片的市場需求第二大品種。電子特氣在晶圓制造過程中占材料成本的14%左右，幾乎滲透到集成電路生產(chǎn)的每個環(huán)節(jié)，對集成電路的性能、集成度和成品率都有很大影響。

　　“從全球晶圓廠產(chǎn)能擴張情況看，根據(jù)IC Insights預測，2025年全球12寸晶圓廠預計從2020年的131座增加到170座，增長30%；12寸晶圓制造產(chǎn)能從650萬片增加到920萬片，增長42%，將帶動電子特氣產(chǎn)業(yè)發(fā)展?！崩罱B波分析說。

　　從主要下游光伏產(chǎn)業(yè)看，碳達峰、碳中和的發(fā)展目標給光伏產(chǎn)業(yè)注入了強心劑，刺激新增裝機需求高速增長。另外，我國在多晶硅、電池片、組件等規(guī)模上遙遙領(lǐng)先，持續(xù)的產(chǎn)業(yè)研發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新，也將為電子特氣產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入更多活力。

　　北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司總經(jīng)理康勁博士表示，近年來，我國半導體材料產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷壯大，自給能力逐漸增強，涌現(xiàn)出三氟化氮(NF？)、鉬及鋁合金靶等眾多具有國際競爭力的產(chǎn)品，國際市場占有率逐步提高。

　　據(jù)介紹，NF？在半導體加工、太陽能電池制造和顯示面板制造中得到廣泛應用，是微電子工業(yè)中優(yōu)良的等離子蝕刻、清洗氣體?！半S著集成電路、顯示面板、光伏企業(yè)產(chǎn)能擴充，NF？需求量將與日俱增?！敝写?邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司副總經(jīng)理王占衛(wèi)說。

　　高端化差異化是方向

　　盡管我國電子特氣產(chǎn)業(yè)化取得一定進展，市場需求也在穩(wěn)步提升，但仍面臨著產(chǎn)品同質(zhì)化嚴重、低端產(chǎn)品過剩、高端產(chǎn)品缺乏的困境。

　　“整體來看，目前NF3在全球市場處于供過于求的狀態(tài)?！蓖跽夹l(wèi)表示，預計全球NF？市場總體需求量在3.6萬噸/年左右，而供應能力則為4.8萬噸/年。

　　王占衛(wèi)強調(diào)，盡管目前國內(nèi)NF？產(chǎn)品同質(zhì)化已較為嚴重，但多家廠商仍有擴充產(chǎn)能的計劃。據(jù)悉，目前，我國NF？產(chǎn)能達1.25萬噸/年，且還有0.6萬至1萬噸產(chǎn)能正在規(guī)劃中，這不利于行業(yè)良性發(fā)展。短期看，降低同質(zhì)化，走差異化、高端化路線是NF？生產(chǎn)企業(yè)發(fā)展的路徑。

　　“在更高制程上，如前驅(qū)體、負壓鋼瓶等，我國電子特氣的供應保障能力有待提升。”李紹波強調(diào)，電子特氣的發(fā)展要以行業(yè)為牽引，以產(chǎn)品為中心，推進設(shè)計、裝備、材料和制造等各環(huán)節(jié)融合發(fā)展；同時依托國內(nèi)大循環(huán)，引導促進國際大循環(huán)，以雙循環(huán)模式重塑產(chǎn)業(yè)鏈高質(zhì)量發(fā)展。（耿明月 ）

　　轉(zhuǎn)自：中國化工報

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