重磅！山東省首根半導(dǎo)體級八英寸直拉硅單晶在德州拉制成功

日前，在山東有研半導(dǎo)體材料有限公司《集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?；a(chǎn)項(xiàng)目》的直拉硅單晶生產(chǎn)車間里，山東省首根八英寸集成電路用八英寸直拉硅單晶拉制成功，標(biāo)志著這一省重大項(xiàng)目的建設(shè)進(jìn)入了一個新的階段。

“單晶生長的工藝非常復(fù)雜，一根單晶的全部生長周期通常需要三天左右，對外部水、電和氬氣等動力條件的供應(yīng)穩(wěn)定性甚至地面震動幅度的要求都很苛刻， 母公司有研半導(dǎo)體在北京的工廠以前進(jìn)行單晶生長時會出現(xiàn)液面不穩(wěn)定而造成單晶斷棱出現(xiàn)位錯的情況，而這次在德州的新工廠單晶是一次性拉制成功，整個過程也是印證了我們這個廠房的建設(shè)達(dá)到了一個非常好的水準(zhǔn)?！惫靖笨偨?jīng)理劉斌介紹說。

為了保證硅材料的生產(chǎn)質(zhì)量，硅片加工工序的部分車間的潔凈度達(dá)到了一級標(biāo)準(zhǔn)，在項(xiàng)目的硅單晶拋光片生產(chǎn)車間，試生產(chǎn)的硅拋光片樣品將被陸續(xù)送往下游廠家進(jìn)行驗(yàn)證，驗(yàn)證合格后將進(jìn)入規(guī)?；慨a(chǎn)。

“能夠這么順利，離不開當(dāng)?shù)卣畬ξ覀兊母咝手С?；水電氣這些基礎(chǔ)設(shè)施，在我們項(xiàng)目還沒有進(jìn)行廠區(qū)內(nèi)部管網(wǎng)與外部供應(yīng)點(diǎn)連接前，各供應(yīng)單位就已經(jīng)把外部管路建設(shè)到位，各項(xiàng)服務(wù)都走在了前面。這次試生產(chǎn)成功讓我們對企業(yè)的未來充滿信心！”公司總工程師肖清華說。

山東有研的母集團(tuán)公司有研科技集團(tuán)是國內(nèi)有色金屬行業(yè)規(guī)模最大的綜合性研究開發(fā)機(jī)構(gòu)，在國內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)了八英寸硅片的規(guī)模化生產(chǎn)。該山東有研項(xiàng)目是德州承接北京高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移的省級重點(diǎn)項(xiàng)目，投資18億元人民幣，建筑面積約10萬平方米，項(xiàng)目建成投產(chǎn)后，將成為北方最大的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)基地。目前，一期項(xiàng)目正進(jìn)行收尾，130余臺套工藝設(shè)備陸續(xù)進(jìn)場，部分工藝設(shè)備將進(jìn)入試運(yùn)行階段；二期12英寸硅片規(guī)模化生產(chǎn)項(xiàng)目也在積極籌備，計(jì)劃明年開工建設(shè)。

（李曉陽 趙慶川）

　　轉(zhuǎn)自：奏嘛新聞

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