超高純四氯化硅技術(shù)通過鑒定 整體水平達(dá)到國際先進(jìn)


來源：中國產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)信息網(wǎng)   時間：2018-01-29




　　近日，中國恩菲和中硅高科共同承擔(dān)的超高純四氯化硅技術(shù)研發(fā)項目，通過了中國電子材料行業(yè)協(xié)會組織的專家成果鑒定。鑒定委員會專家一致認(rèn)為，該項目成果實(shí)現(xiàn)了多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅的綜合利用，提高了四氯化硅的產(chǎn)品附加值，整體技術(shù)水平達(dá)到國際先進(jìn)。
 
　　鑒定意見顯示，該項目自主研發(fā)了以多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅為原料，制備光纖用OVD級高純四氯化硅的吸附精餾提純工藝；以O(shè)VD級高純四氯化硅為原料，制備光纖用PCVD級超高純四氯化硅的光催化反應(yīng)精餾提純工藝。同時，該項目還開發(fā)了超高純四氯化硅全自動充裝技術(shù)和裝備、超高純四氯化硅產(chǎn)品密閉在線取樣系統(tǒng)等先進(jìn)的工藝及裝備技術(shù)，保證了產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性及檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。
 
　　此外，該項技術(shù)成果已用于10000噸/年OVD級高純四氯化硅和100噸/年的PCVD級、半導(dǎo)體超高純四氯化硅生產(chǎn)裝置建設(shè)。（百川）
 
　　轉(zhuǎn)自：中國化工報
 



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