2月7日,國內(nèi)首臺2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)發(fā)運儀式在上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司(簡稱“上海微電子”)位于上海浦東張江的公司總部舉行。上海電氣黨委書記、董事長冷偉青在現(xiàn)場致辭中表示,先進(jìn)封裝光刻機(jī)作為集成電路核心設(shè)備是必須突破的關(guān)鍵核心技術(shù)之一。上海電氣創(chuàng)造了國家和世界的許多行業(yè)第一。國內(nèi)首臺2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)為上海電氣新添光彩一筆。
上海電氣副董事長兼上海微電子黨委書記、董事長干頻在致辭中表示,本次發(fā)運的國內(nèi)首臺2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī),是量產(chǎn)封裝光刻機(jī)的一次全面升級,具有更高分辨率、更高套刻精度、更大曝光面積,將助力客戶實現(xiàn)芯片的異構(gòu)集成,以相對較低的成本實現(xiàn)芯片系統(tǒng)的性能提升。上海微電子副總經(jīng)理黃棟梁介紹,新技術(shù)在高端、先進(jìn)芯片上得到應(yīng)用,行業(yè)對封裝光刻機(jī)提出了更大曝光面積、更高分辨率、更高套刻精度的要求。
近年來,上海微電子緊跟行業(yè)發(fā)展趨勢,結(jié)合客戶應(yīng)用需求,在上海市發(fā)改委、上海市經(jīng)信委的支持下,以上海市戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重大項目為依托,研制先進(jìn)封裝光刻機(jī)。
資料顯示,上海微電子于2002年3月在上海電氣、上??仆兜葒Y企業(yè)支持下成立,面向半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體領(lǐng)域持續(xù)開發(fā)了一系列相關(guān)高端裝備。上海電氣集團(tuán)為上海微電子第一大股東。
轉(zhuǎn)自:中國證券報·中證網(wǎng)
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