在近日舉辦的2021"專精特新"冬季新品發(fā)布會上，由深圳市軸心自控技術(shù)有限公司現(xiàn)場展示的 "半導體大氣式等離子表面處理系統(tǒng)"（以下以其中一款機型 "MYS10設(shè)備"為指代），打破了被國外廠商長期壟斷的格局，在關(guān)鍵性能指標上甚至實現(xiàn)超越。
MYS10設(shè)備是一款高靈活性、高兼容性小巧型平臺，一般應用在半導體、PCB板、LED顯示等行業(yè)生產(chǎn)工藝中的清洗及活化，解決電子元器件表面的污跡、燒結(jié)等缺陷隱患，可以稱作是半導體等行業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中的重中之重，對于提升產(chǎn)品合格率至關(guān)重要。
據(jù)了解，經(jīng)過多年攻關(guān)，目前產(chǎn)品已經(jīng)得到國內(nèi)外主流的半導體、屏顯廠商的認可及使用。
半導體前端晶圓級和后端封裝級生產(chǎn)工序中，由于有機臟污、金屬氧化物、顆粒污染等在器件和材料表面，這些臟污會明顯地影響封裝生產(chǎn)及產(chǎn)品質(zhì)量。行業(yè)一般利用等離子體清洗技術(shù)，能夠很有效清除掉生產(chǎn)過程中形成的這些分子水平的污染，從而顯著改善封裝的可制造性、可靠性及成品率。
不僅半導體產(chǎn)業(yè)，消費電子、汽車電子、顯示等產(chǎn)業(yè)各類產(chǎn)品為提高產(chǎn)品穩(wěn)定性和可靠性，都離不開這道工藝技術(shù)。
"此前，產(chǎn)業(yè)普遍采用真空等離子處理技術(shù)，但是這種技術(shù)被國外廠商長期壟斷，等于說受制于人。"軸心自控產(chǎn)品經(jīng)理熊欽介紹，一臺同類型設(shè)備費用高昂，差不多在15萬美元以上，采購時根本沒有話語權(quán)。
MYS10設(shè)備打破了這種壟斷，其業(yè)內(nèi)首創(chuàng)的常壓式氬氣等離子系統(tǒng)在多項關(guān)鍵指標上實現(xiàn)超越，也使得我國同類產(chǎn)品在國際上從跟隨者躍升為引領(lǐng)者。傳統(tǒng)的處理系統(tǒng)需要真空處理和填充惰性氣體兩道繁瑣工序，MYS10設(shè)備做了更多創(chuàng)新，通過消除傳統(tǒng)真空式等離子處理的等待時間，這套系統(tǒng)在帶來產(chǎn)能和良率提升的同時，也能確保安全處理所有敏感性電子元件。與此同時，100mm寬等離子在線式批量處理，可進一步滿足高產(chǎn)能，據(jù)估算，相比傳統(tǒng)方式效率可提升2~5倍，成本降低30%以上。（經(jīng)曉萃 成鑫）
轉(zhuǎn)自：中國工業(yè)報
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