我國(guó)最新一代集成電路制造工藝研發(fā)取得突破性進(jìn)展

　　近年來(lái)，我們使用的電腦、手機(jī)等速度更快、耗電更省、成本更低，這有賴于集成電路制造工藝的不斷進(jìn)步。記者近日從中國(guó)科學(xué)院微電子研究所獲悉，該所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心在22納米技術(shù)代集成電路關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)上取得突破性進(jìn)展，掌握這種最先進(jìn)的集成電路制造工藝將有利于提升我國(guó)自主生產(chǎn)制造更加質(zhì)優(yōu)價(jià)廉的集成電路產(chǎn)品的能力。

　　22納米技術(shù)代集成電路技術(shù)是全球正在研發(fā)的最新一代集成電路制造工藝，各國(guó)都投入了巨大資金，誰(shuí)先把這種技術(shù)開(kāi)發(fā)出來(lái)，誰(shuí)就能降低集成電路產(chǎn)品的成本，搶占市場(chǎng)先機(jī)。多年來(lái)，我國(guó)的集成電路制造工藝大多是在引進(jìn)國(guó)外知識(shí)產(chǎn)權(quán)基礎(chǔ)上進(jìn)行產(chǎn)品工藝開(kāi)發(fā)，在全球產(chǎn)業(yè)鏈最先進(jìn)工藝的開(kāi)發(fā)上缺少布局和話語(yǔ)權(quán)。2009年，我國(guó)在國(guó)家科技重大專項(xiàng)的支持下開(kāi)始22納米技術(shù)代集成電路關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)工作，經(jīng)過(guò)3年多努力取得突破性進(jìn)展。

　　據(jù)介紹，22納米約相當(dāng)于普通成年人頭發(fā)絲直徑的2300分之一，采用 22納米集成電路技術(shù)可以在一根頭發(fā)絲的橫截面上集成大約1000萬(wàn)個(gè)晶體管，從而使集成電路產(chǎn)品的功能更多樣化，速度更快，成本更低。研究人員摒棄了傳統(tǒng)的二氧化硅、多晶硅等材料，采用了高K材料、金屬柵材料等新材料新工藝，研制出了性能良好的器件，技術(shù)水平達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、世界一流。

　　研發(fā)過(guò)程中，中國(guó)科學(xué)院與北京大學(xué)、清華大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)的聯(lián)合項(xiàng)目組完成了1369項(xiàng)專利申請(qǐng)，其中包括424項(xiàng)國(guó)際專利申請(qǐng)，為我國(guó)在集成電路領(lǐng)域掌握自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，取得國(guó)際話語(yǔ)權(quán)奠定了基礎(chǔ)。該成果的取得也為我國(guó)繼續(xù)自主研發(fā)更先進(jìn)的16納米及以下技術(shù)代的關(guān)鍵工藝提供了必要的技術(shù)支撐。（吳晶晶）

來(lái)源：新華網(wǎng)

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