國產(chǎn)首臺套LED核心裝備成功下線

　　本報訊 上海理想能源有限公司研制開發(fā)的LED核心制造裝備———金屬有機物化學氣相沉積MOCVD設備日前成功下線，該公司已與我國臺灣一家光電公司簽訂了37臺套設備應用驗證合同，為下一步投入市場、大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化奠定了基礎(chǔ)。

　　LED作為重要的新型綠色光源產(chǎn)品，MOCVD設備是整個LED照明產(chǎn)業(yè)鏈中最關(guān)鍵的制造裝備，其設備成本占整個芯片設備成本的50%左右。由于技術(shù)含量高，制造工藝復雜，目前全球的MOCVD設備市場主要被國外兩家設備供應商所壟斷。

　　上海理想能源設備有限公司利用不到兩年的時間自主研制了具有單腔產(chǎn)能84片2英寸外延片的單腔體MOCVD反應腔，以及3腔體252片產(chǎn)能的簇式多腔體自動化MOCVD系統(tǒng)，突破了國外同類MOCVD裝備的技術(shù)開發(fā)壁壘。（耀文）

來源：中國電子報

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