我國(guó)高端光刻設(shè)備躋身世界一流

要把一塊體積小巧、功能強(qiáng)大的集成電路芯片制造出來(lái)，除了卓越的電路設(shè)計(jì)外，更離不開(kāi)將設(shè)計(jì)圖型轉(zhuǎn)換成高性能芯片的制造設(shè)備，而其中最關(guān)鍵的設(shè)備就是光刻機(jī)。經(jīng)過(guò)十年自主創(chuàng)新，上海微電子裝備有限公司掌握了光刻機(jī)多項(xiàng)核心關(guān)鍵技術(shù)并擁有了這一領(lǐng)域的多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，打破了國(guó)際壟斷，成為世界上第四家掌握這一高端技術(shù)的公司。這是記者今天從光刻機(jī)十年成果匯報(bào)暨上海微電子裝備有限公司十年回顧活動(dòng)上獲悉的。

　　人們常說(shuō)，制造一塊芯片，其精細(xì)程度比在一根頭發(fā)絲上“繡花”還要高。集成電路裝備是集成電路產(chǎn)業(yè)價(jià)值鏈頂端的“皇冠”。其中，高端光刻機(jī)堪稱“皇冠上的明珠”，是集成電路裝備中技術(shù)難度最高、價(jià)格最昂貴的關(guān)鍵設(shè)備，集精密光學(xué)、機(jī)械、控制、材料等先進(jìn)科學(xué)技術(shù)和工程技術(shù)于一體，研發(fā)過(guò)程和成果對(duì)于集成電路產(chǎn)業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有極大的帶動(dòng)作用。我國(guó)“十五”、“十一五”、“十二五 ”發(fā)展規(guī)劃中，高端光刻機(jī)被明確定義為重點(diǎn)制造裝備，并被列入國(guó)家科技重大專項(xiàng)。

　　2002年，科技部重大科技專項(xiàng)100納米高端光刻機(jī)的研制落戶上海。科技部和上海市政府商定，按現(xiàn)代企業(yè)制度建立上海微電子裝備有限公司承擔(dān)這項(xiàng)任務(wù)，并同步建設(shè)國(guó)家光刻設(shè)備工程技術(shù)研究中心和產(chǎn)品化基地。面對(duì)國(guó)內(nèi)基礎(chǔ)薄弱、資源匱乏、專利壁壘多的局面，上海微電子裝備有限公司不斷探索創(chuàng)新，刻苦攻關(guān)，于2007年自主設(shè)計(jì)、制造和集成了我國(guó)首臺(tái)高端投影光刻機(jī)。首臺(tái)先進(jìn)封裝光刻機(jī)于2009年下半年實(shí)現(xiàn)銷售，運(yùn)行兩年多來(lái)連續(xù)封裝幾十萬(wàn)片硅片。目前，該系列產(chǎn)品已形成批量銷售，并實(shí)現(xiàn)海外市場(chǎng)銷售突破。2011年，研發(fā)完成0.31nm的中高端雙頻激光干涉測(cè)量系統(tǒng)，2012年將形成系列產(chǎn)品進(jìn)入國(guó)內(nèi)高端精密檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)。截至目前，公司已申請(qǐng)中國(guó)專利947項(xiàng)，其中大部分為發(fā)明專利，被評(píng)為上海市專利工作和知識(shí)產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)。

來(lái)源：光明日?qǐng)?bào)

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