國內(nèi)首臺48片MOCVD樣機取得重大突破

在中國科學(xué)院和廣東省共同支持下，由中科院半導(dǎo)體研究所負(fù)責(zé)研制開發(fā)的國內(nèi)首臺48片MOCVD樣機取得重大進展。

　　樣機不僅經(jīng)過了真空、壓力、溫度、旋轉(zhuǎn)、自動傳輸?shù)纫幌盗性O(shè)備性能指標(biāo)實驗考核，還進行了氮化鎵以及氮化物L(fēng)ED的外延工藝考核。所外延的氮化物材料分別由山東華光、杭州士蘭明芯、武漢迪源、上海藍寶、揚州中科等國內(nèi)主流芯片公司進行了性能測試和氮化物L(fēng)ED芯片制作。多家第三方機構(gòu)檢測結(jié)果表明，用此48片MOCVD樣機外延的氮化鎵材料，其各項性能指標(biāo)達到同類國際MOCVD設(shè)備產(chǎn)品的水平。

　　3月10日，在廣東省與中科院在京舉行的全面戰(zhàn)略合作座談會上，廣東省省長朱小丹、中科院院長白春禮等就首臺48片MOCVD樣機研制成果向中共中央政治局委員、廣東省委書記汪洋作了匯報。會議期間，還舉行了MOCVD裝備成果與用戶的應(yīng)用合作簽約儀式。

來源：中國科學(xué)院

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