新型電機助推我國IC產(chǎn)業(yè)自主化發(fā)展

在6月28日召開的中國科協(xié)科技期刊月度研討會上，由哈爾濱工業(yè)大學電磁與電子技術研究所寇寶泉教授、李立毅教授、張赫博士撰寫的論文《集成繞組結構短行程直流平面電機》被重點推介。該論文提出了一種可應用于光刻機超精密工件臺的平面電機新型結構。

　　與會專家表示，這種基于音圈電機運行原理的平面電機新結構，可以實現(xiàn)高精度、高頻響的定位運動，在光刻機超精密工件臺的應用領域具有很高的研究價值。這一新發(fā)現(xiàn)，對我國光刻機及其關鍵配套部件的研制具有重要意義，將加快推進我國集成電路（IC）產(chǎn)業(yè)的自主化進程。

來源：中國工業(yè)報

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