我國(guó)研制成功300毫米多線(xiàn)切割機(jī)

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司總經(jīng)理王志剛1 月12 日透露，由中國(guó)電科承擔(dān)的國(guó)家重大科技專(zhuān)項(xiàng)“ 極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專(zhuān)項(xiàng)”課題之一的300 毫米硅材料多線(xiàn)切割機(jī)近日研制成功，從而打破了國(guó)內(nèi)生產(chǎn)線(xiàn)上運(yùn)行的12 英寸多線(xiàn)切割機(jī)全部為進(jìn)口設(shè)備的現(xiàn)狀。

王志剛在中國(guó)電科2011 年工作會(huì)議上介紹說(shuō)，這個(gè)項(xiàng)目是由中國(guó)電科自行設(shè)計(jì)，攻克了多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，研制成功的實(shí)用化機(jī)型，能夠一次切割出400多片滿(mǎn)足生產(chǎn)線(xiàn)要求的12 英寸硅片。這項(xiàng)技術(shù)已向太陽(yáng)能硅材料加工領(lǐng)域延伸，目前中國(guó)電科已與國(guó)際大型太陽(yáng)能硅片企業(yè)簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，進(jìn)行多功位線(xiàn)鋸的研發(fā)，2011 年6 月前后將完成商業(yè)機(jī)型的生產(chǎn)線(xiàn)工藝驗(yàn)收。中國(guó)電科是我國(guó)軍工電子國(guó)家隊(duì)和國(guó)民經(jīng)濟(jì)信息化主力軍?！?十一五”期間中國(guó)電科為我國(guó)國(guó)防和國(guó)民經(jīng)濟(jì)建設(shè)提供了一大批先進(jìn)的電子信息系統(tǒng)和裝備，研制出一大批關(guān)鍵元器件。

來(lái)源：中國(guó)質(zhì)量報(bào)

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