月底交付三安 國(guó)內(nèi)首款LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)量產(chǎn)

　　據(jù)松江報(bào)報(bào)道，由上海福賽特智能設(shè)備有限公司獨(dú)立研發(fā)的國(guó)內(nèi)首款LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)今年量產(chǎn)，長(zhǎng)三角G60科創(chuàng)走廊研發(fā)成果填補(bǔ)了行業(yè)空白。

　　該公司智能設(shè)備事業(yè)部副總經(jīng)理劉純君表示，此設(shè)備用在LED半導(dǎo)體外延工藝段，可實(shí)現(xiàn)晶圓從原料倉(cāng)至PVD（物理氣相沉積）工序之間以及PVD工序到MOCVD（金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積）工序之間的周轉(zhuǎn)。

　　值得注意的是，該報(bào)道指出，劉純君也介紹說(shuō)，這批設(shè)備是交付給三安集團(tuán)的，三安集團(tuán)作為國(guó)內(nèi)LED晶圓制造業(yè)的龍頭企業(yè)，對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)要求很高。

　　據(jù)悉，在福賽特推出此設(shè)備之前，這種周轉(zhuǎn)主要通過(guò)人工操作完成。人工操作引入的污染會(huì)對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)產(chǎn)生很大影響，因?yàn)槿藶槭д`造成的產(chǎn)品或載具損傷浪費(fèi)不小。而且，人工操作和周轉(zhuǎn)中斷了設(shè)備信息流和數(shù)據(jù)流，不利于產(chǎn)品信息追蹤及回溯。福賽特LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)的推出，解決了行業(yè)痛點(diǎn)。

　　此外，目前福賽特第一款設(shè)備LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)已經(jīng)量產(chǎn)，PSS工藝段的第二款產(chǎn)品PSS自動(dòng)上片機(jī)已經(jīng)研制成功，目前該公司正與國(guó)內(nèi)LED主設(shè)備龍頭企業(yè)洽談，擬合作研發(fā)嵌入式晶圓倒片模塊，支持新一代國(guó)產(chǎn)MOCVD和PVD設(shè)備的研制。

　　轉(zhuǎn)自：集微網(wǎng)

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